双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪工作原理图

真空检漏 关奎之 东北大学

        图4 示出了双级90°偏转串联式磁偏转型氦质谱检漏仪的质谱室。

       由于两次分析,减少了非氦离子到达收集器的机率。并且,如在两个分析器的中间,即图中的中间缝隙S2与邻近的挡板间设置加速电场,使离子在进入第二个分析器前再次被加速。那些与氦离子动量相同的非氦离子,虽然可以通过第一个分析器,但是,经第二次加速进入第二个分析器后,由于其动量与氦离子的不同而被分离出来。由于二次分离,仪器本底及本底噪声显著地减小,提高了氦质谱检漏仪的灵敏度。

双级串联磁偏转质谱室

 

图4 双级串联磁偏转质谱室