ASM181T氦质谱检漏仪的部件工作原理

1.ASM181T氦质谱检漏仪的工作气路（图1） 。

2.ASM181T氦质谱检漏仪工作准备过程（ 自动内部校准）

        （1） 预抽。合上检漏仪电源开关，粗抽泵启动，循环指示按钮的绿色指示灯闪亮。

        （2） 当初压力达到设定值（ 大约5s 后） ，P 指示灯亮，分子泵启动，分子泵转速达到正常转速大约需要2～3min，当分子泵转速达到正常转速时，分子泵转速指示OK 灯亮。同时，灯 丝启动，灯丝开关指示灯闪亮大约8s 后， 指示灯亮， 灯丝点亮。

        （3） 检漏仪自动标定。AUTOCAL 开关红色指示灯闪亮，如果没有故障，几秒钟后绿色指示灯亮，内部漏孔通大气。表示检漏仪自检完成，可以工作了。

3.ASM181T氦质谱检漏仪检漏过程

        （1） 粗抽。按下遥控器上的循环启动按钮，粗检阀4 打开，遥控器右侧压力显示光柱下降。

        （2） 大漏检测方式。如果按下粗检按钮，当真空达到6×102MPa时，分子泵排气口阀6 打开，遥控器中间光柱显示当前漏率。

        （3） 细检方式。如果不按下粗检按钮，当真空达到2×10-4MPa 时，粗检阀4 关闭，细检阀5 打开，遥控器左侧光柱显示当前漏率。

4.ASM181T氦质谱检漏仪的质谱室工作原理

         质谱室工作原理（图2） 。

         质谱室是用来检测氦的分压强。当质谱室内的总压强（真空度） ＜10-6MPa 时，电离室中由钨丝制成的灯丝启动，加热后产生高速电子轰击离子源中的气体分子，使分子电离。大部分的气体分子都能变成离子， 离子在电场中被（加速电压） 加速，从而进入与其垂直的偏转磁场，不同质量数的离子其偏转半径不同。加速电压使得氦离子可以打到放大器的入口（电子倍增器） ，从而检测出氦离子流的强度，氦离子流与容器内的氦分压成正比， 因此对氦离子的测量可以确定被检件的漏率。