常用的标准漏孔的两种校准方法

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)真空技术培训讲座 作者:真空技术网

    标准漏孔的常用校准方法有定容升压法和氦质谱检漏仪比较法。

    (1)定容升压法

    定容升压法校准系统示意图如图12所示。

定容升压法校准标准漏孔系统示意图 

图12:定容升压法校准标准漏孔系统示意图

       经预抽并烘烤容积V后,标准漏孔进气端压力p1<1.33×103Pa,而V达到极限真空。当压力为1.01×105Pa的校准气体(例如N2气)经标准漏孔流进容积V,并在V中压力p2稳定后,关闭阀门S2记录时间和环境温度T,测出对应Δt时间的升压Δp2则标准漏孔的漏率为式(10)。

    (2)氦质谱检漏仪的比较法

    氦质谱检漏仪比较法校准系统如图13所示。

氦质谱检漏仪的比较法校准标准漏孔示意图 

图13:氦质谱检漏仪的比较法校准标准漏孔示意图

在检漏仪工作条件不变的前提下,先后测出已知漏孔L1和待校漏孔L2的进气氦压和讯号,则待校标准漏孔的漏率为式(11)。式中,qL,01-已知标准漏孔L1的漏率;p1,p2-分别为L1、L2漏孔进气端氦压;I1,I2-分别为L1,L2漏孔的输出讯号;I0-检漏仪本底。

  常用的标准漏孔的两种校准方法为真空技术网首发,转载请以链接形式标明本文首发网址。

  http://www.chvacuum.com/leakhunting/09207.html

  与 真空检漏 标准漏孔 校准系统相关的文章请阅读:

  真空检漏http://www.chvacuum.com/leakhunting/