氦质谱检漏仪现场校准方法研究(2)

　　其中uA1 分别为2.3%，0.1%，0.4%；uA2 结果分别为38%，10%，7.0%。

表4 标准值与拟合公式计算漏率值对应表（单位为Pa·m³·s-¹）

2.4.2、标准不确定度B 类评定（uB）

　　uB 一般是校准装置本身的合成标准不确定度，在校准检漏仪的方法中，是标准漏孔的合成不确定度（9.0%）。

2.4.3、计算合成标准不确定度

　　测量结果的合成标准不确定度（uC）

2.4.4、计算扩展不确定度

2.4.5、测量不确定度评定

表5 氦质谱检漏仪校准不确定度评定

3、结论

　　从以上三台氦质谱检漏仪的校准数据中，可以发现，在全量程范围内，检漏仪的示值与标准值并不能很好的吻合，单点校准不能完全满足检漏要求，建议对氦质谱检漏仪的全量程范围内进行校准；如果需要全量程范围示值与标准值的关系，建议使用校准曲线拟合公式计算；由于拟合公式计算比较复杂，也可以通过查校准曲线得到校准值；由于氦质谱检漏仪使用的条件的不同，影响了全量程范围测量，校准拟合公式不同，其校准不确定度也不同；采用标准漏孔校准氦质谱检漏仪的方法，过程简单，能够对氦质谱检漏仪进行现场校准，从而提高各种行业检漏质量。