常压累积法检漏技术基本原理

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)上海航天动力机械研究所 作者:康小录

       常压累积法检漏所采用的检测仪器一般为质谱仪器(包括氦质谱检漏仪) 。由于质谱仪器的离子源大多是热阴极电子碰撞式电离离子源, 其工作压力在10- 2 Pa 以下。为保证离子源的正常工作压力, 必须通过一定的取样系统, 将被检系统中气体样品的一部分注入质谱仪的离子源(离子源中的压力保持在其正常工作的压力范围) 中进行分析, 然后再根据分析结果和取样过程确定出被检件的漏率值。

       采用常压累积法质谱检漏技术, 涉及到被检件和集气容器的吸附、脱附, 进样系统的分馏以及集气容器的渗透等诸多因素, 使测量结果的准确度和可靠度受到限制。通过对常压累积法质谱检漏过程和标定方法的分析, 考察影响测量准确度和可靠度的因素,进而探讨消除影响测量因素可能的努力方向。

常压累积法检漏技术

基本原理

       如图1所示, 被检件内充入了一定压力的示漏气体, 装于一特制的集气容器内, 集气容器空腔内为常压大气。如果被检件有漏, 示漏气体通过漏孔进入集气容器中, 使得集气容器内的示漏气体的分压力增加。经过一定的时间, 集气容器内示漏气体的分压力增加到一定的值。通过质谱仪器测量集气容器内示漏气体的分压力的变化, 便可得出被检件的总漏率。

常压累积法检漏

图1 常压累积法检漏原理示意图

      设集气容器空腔的净容积为V ; 被检件的总漏率为Q; 由被检件漏出的示漏气体全部进入集气容器空腔的空间内, 并且在累积时间t 内集气容器内的示漏气体分压力增量p 除由被检件泄漏无其它来源。被检件的总漏率可以由下式求得:

Q = pV/t

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