晶振膜厚控制仪应用与展望(1)

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)真空技术网整理 作者:剑气书生

一、前言

    国产镀膜机要实现多层膜自动化操作日前均使用进口的膜厚控制仪,使用进口的控制仪存在以下几个问题。其一、价格昂贵,其二、由于各厂家生产的设备不一,所以必须设计不同的接口,其三、现有的旧设备往往不能适应。为此使用上海泰尧真空科技有限公司生产的FCM-II膜厚控制仪,只要国产镀膜机稍加配合即能简便地实现多层膜的半自动化。

二、膜厚控制仪设计有良好的抗干扰电路

    控制仪工作稳定,速率和膜厚的控制能达到很高的精度,显示屏中文显示,简单而且直观。用它控制国产镀膜机无须国产镀膜机作很大的改动,甚至可以保留国产镀膜机原有的人工镀膜的状态,不失为国产镀膜机的最佳配套选择。

三、膜厚控制仪有一输出控制插头CH,其输出控制信号线定义如下:

    (1)CH/1为+10V CH/2为-10V CH/3为地线,根据用户要求组成一组自动束流控制的屏蔽线,并带有Q9插头。

    (2) CH/4 CH/5为一组挡板自动控制线。只要将其并联在镀膜设备手控盒上 的挡板按钮两端,即能实现挡板自动开关。

    (3)CH/6 CH/7为一组坩埚自动转位控制线。只要将其并联在镀膜设备手控盒上的坩埚转位点动按钮上,即可实现坩埚的自动转位。即当上一层挡板关闭后,坩埚会自动按顺序转动1个位置。

    (4)CH/8 CH/9为一组输入的坩埚到位信号线。只要镀膜设备能提供到位信号(编程或开关信均可,最好是2秒自复信号)其作用是:当坩埚到位后,仪器会自动启动继续下一层的镀膜程序。当仪器的输出/输入接口用连接线与国产镀膜设备按要求连接好之后。只要设备和仪器的“手动/自动”开关全部置“自动”位置,镀膜设备和膜厚控制仪就会按照下列程序动作。

    镀膜机待命工作→膜厚控制仪开电源→编程(按坩埚顺序号对应编程)→开始一进入第一层镀膜程序→挡板自动打开→控制束流→到达终厚→挡板自动关闭→坩埚自动按顺序转到2号坩埚→坩埚到位给出到位信号→仪器自动启动进入第二层镀膜程序……进入第六层镀膜程序→将膜厚控制仪“手动/自动”开关置“手动”位置→到达终厚→挡板自动关闭一仪器自动停止工作→完成一个6层膜系的工作。

四、膜厚控制仪除具有上述工作特点外,还有如下一些技术特性

    (1)可根据不同的镀膜机配合制造不同形状和尺寸规格的探头。(包括二探头、三探头等,达到不打开真空室更换探头的目的)。

    (2)镀膜过程参数即时显示,厚度显示分辨率lÅ,速率显示分辨率0.1Å。

    (3)总共可设置99层镀膜层,可根据需要将它们编入l—16个次序号(膜系)中,便于操作调用。

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