薄膜的应力控制技术研究现状

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摘 要:薄膜应力普遍存在于薄膜元器件中,从而影响薄膜器件性能,限制了其良好的应用前景.所以控制薄膜的应力,消除其不良影响,是薄膜生产工艺中不可或缺的技术手段.本文对此详细阐述了几种常用的薄膜应力控制方法,并对以后研究工作的开展提出几点要求.
关键词:薄膜;应力;控制技术
分类号:O484.2 文献标识码:A
文章编号:1672-7126(2008)增刊-017-05

Stress Release and Control of Thin Films materials Used in Devices Fabrication

Jiang Zhao  Chen Xuekang 

 

蒋钊,联系人:Tel:13893225634;E-mail:qqq-128@163.com
作者单位:蒋钊(兰州物理研究所,表面工程技术国家级重点实验室,兰州,730000) 
     陈学康(兰州物理研究所,表面工程技术国家级重点实验室,兰州,730000) 

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