旋转阴极磁场测控系统设计与研究

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)合肥工业大学真空科学技术与装备研究所 作者:陈长琦

旋转阴极磁场测控系统设计与研究

陈长琦 汪根生

(合肥工业大学真空科学技术与装备研究所 合肥 230009)

  摘要:随着能源问题的日益凸显,功能性玻璃正逐渐被人们所重视。而作为镀膜工艺的关键部件之一 ——阴极的设计与生产,核心技术多被外企所垄断,国内在该领域的设计与研究尚属起步阶段。

  阴极设计主要分为:机械结构及磁场分布两个方面。其中磁场的布局直接影响到溅射工艺的优劣及其生产效率高低。合理、精准的磁场排布能够有效的提高磁场的均匀性,增加靶材的利用率。因此对特定点位的磁场测量,提出了极高的要求。

  本文着眼于提高磁场的控制精度及测控的可重复性,设计了一套以PLC 为控制核心,伺服驱动和伺服电机为执行机构的测控系统。开发的磁场测控软件,能够对行进步长、速度、采样精度等进行设置。辅之于自锁、限位保护、报警等功能,实现了三轴联动的运动控制系统。

  为了方便操作人员的使用,开发的远程登录功能,使该网段内的授权使者,能够实现远程测控。提高了可用性和生产效率。设计已经成功运用于科研与生产中,通过对现场磁棒的累计测量,系统的定位进度达到了0.01 mm。对采样的10 组数据比对分析表明,磁场测量的精度及可重复性均有了大幅度的提升。

  关键词:磁场测控 高精度定位 PLC 远程控制

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