扩散泵抽气系统常见的故障及其排除措施

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)东北大学 作者:张以忱

  扩散泵抽气系统常见的故障及其排除措施如下(同时参见表15):

  (1) 如果扩散泵抽气系统不漏气,而系统的极限压力却一直达不到预想的结果,则可能是系统设计不合理,有效抽速低;或真空规电极放气和真空规本身受光电流的限制,测不出低压力。

  (2)如果在长时间使用后,扩散泵或机组的抽气性能逐渐变坏,即极限真空度和抽速降低,而其它情况正常,则主要是扩散泵油逐渐氧化,质量变坏。这时,应更换新扩散泵油。换油步骤为:先把扩散泵卸下,取出泵芯,按要求将泵芯清洗烘干后正确装配并加新油。

  (3)由于特殊原因,如真空规管炸裂,误开真空容器放气阀或未关闭高真空阀等,使扩散泵内突然漏进大气时,应立即关闭高真空阀门,停止扩散泵加热并强迫油锅冷却。消除故障后,应作抽气试验,并根据其结果判断是否需要更换扩散泵油。

  (4)扩散泵经拆装接入系统后,如果系统一切均严格按前述操作程序进行抽气的话,则应该能达到泵原极限压力;如果仔细反复调整各喷口间隙,真空度还应有所提高。如果真空度抽不上去,则首先检查该泵所在系统的漏气率是否超过允许值;同时检查扩散泵的加热器是否烧断、供电电压是否正常、泵的冷却是否正常。如果上述方面一切均正常,则可认为是泵芯装配方面的问题,如装歪、喷嘴间隙不对、泵芯在装配前未清洗干净、有机溶剂未烘干、泵油不够或装入了质量不好的泵油及加热功率调整不正确等。

  (5)如果扩散泵的工作一直正常,而且也不是动了系统而使某处漏气,而使机组的抽气性能突然变坏,则可能是扩散泵电炉丝断了或保险丝断了,应及时检查更换。

  (6)如果前级泵工作不正常或抽气容量不够,也会使扩散泵工作不正常。

  (7)环境温度、湿度、冷却水温度等使用条件对扩散泵的抽气性能影响也较大。例如,当环境温度过高(超过35℃)时,扩散泵性能即开始降低。

  (8)扩散泵加热功率调整得不正确,也可使扩散泵的工作状态不正常。调加热功率时,最好能找到返油率最低点的合适温度。

  (9)油蒸气返流污染系统,也可使系统得极限压力达不到预期结果,可参照真空技术网前文采取措施加以改进。

表15 油扩散泵抽气系统常见故障及排除方法

油扩散泵抽气系统常见故障及排除方法

油扩散泵抽气系统常见故障及排除方法

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