订制各种真空室及配套系统—合肥科烨

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我们的工程部、生产部及组装测试部,可根据您的特殊需求,专业订制真空室及其附设的子系统。我们为HV或UHV应用所设计及制造的各种真空腔室,包括为R&D设计的小型球型真空室,和工业量产镀膜设备所需的长达14英尺以上的大型盒型真空室,可满足各种需求。

另外,任何客戶订制的真空室都可通过工程设计,与其他适当的真空组件组合,成为一套功能完整的系统零部件设备。


真空室结构与材质配制
(Construction & Materials)
多种结构型态:球型、盒状、圆柱型及钟罩状,可由各种不锈钢材质 (304, 304L, 316, 316L) 或铝材质所制。所有材质是经过特別选择的,可达到低磁渗透性的要求。


加工能力
(Machining Capabilities)
我们使用业界知名公司(例如Mazak和Kuraki等公司)的最尖端的CNC加工中心。所有的加工中心都使用有利于真空的无硫冷却剂,以降低腔室表面放气。

通过自动的机械臂夹具及组件接口的激光校准,来确保极小的产品公差。通常可达到的表面光洁度等级有#8镜面抛光、#4拉绒抛光及电解抛光等。
加工能力


检测及清洁处理
(Inspection & Cleaning)
我们一般使用精密的CMM检测臂去检查加工完毕的真空室的加工公差,而当使用我们的六轴CNC加工中心来制造大型的产品时,则采用在线检测探针进行现场检测。所有接缝处、焊接处及法兰连接处都要通过严格的观察检验及氦检漏测试,以达到真空完整性。

我们有一套严格的真空腔室清洗设备及程序,清洗完成后,我们用高温炉将其烘干;另外,我们也可以根据客户的要求,进行特定的清洗程序。


检测及清洁处理

真空室的配制系统 (Chamber Sub-Assemblies)
为配合客戶特珠的应用需求,我们可以为客戶订制的真空室配置所需的其他真空部件,以构成一套完整的真空配制系统。

通常为真空室配备的组件包括:

  • 支撑的框架——是由碳素钢或挤压铝所制。多种不同结构的机柜及开放隔间可供选择。
  • 泵组合——任意高真空泵(涡轮分子泵、低温泵或油扩散泵),可同时配备相应的初级泵。
  • 阀门及真空计组合——手动控制及全自动电脑控制,两种组合可选。
  • 真空锁(Load Lock)组合——即样品预真空室组合,包括真空锁腔室、样品传送装置、涡轮分子泵及进气阀门等。

另外,我们也为一些小型实验室及大学等研发用户提供标准的经济的钟罩型真空室子系统。这种已核可的零部件包括:玻璃或金属结构的钟罩腔室、腔室基座、连接各种穿通密封件(Feedthrough)用的环型腔室、机柜式支撑框架(可配备钟罩室升降的动力装置),及配套的真空泵组合。

真空室的配制系统

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