油扩散泵的工作原理与结构

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1.概述


       油扩散泵的工作原理与水蒸汽喷射泵相似,都是靠高速蒸汽射流来携带气体以达到抽气的目的,故有如水蒸汽喷射泵相似的特点。不同点是扩散泵工作在高真空区域,其工作压强范围为10-2~10-6pa。广泛用于电子、化工、冶金、机械、石油及原子能等工业部门中。


2.油扩散泵的工作原理与结构

油扩散泵结构示意图

图3:油扩散泵结构示意图


 


      图3是扩散泵的结构示意图。当油蒸汽从伞形喷咀(如I级喷咀)以超音速喷出后,其速度逐渐增大,压力及密度逐渐降低,射流上边的被抽气体A因密度差要向蒸汽射流中扩散并被射流携带到水冷的泵壁处B,在B处,工作蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回到油锅中循环使用,而被抽气体在B处堆积、压缩,最后被下级射流携带走,以达到逐级压缩,最后被前级泵抽走。其抽速特性曲线如图4所示。

油扩散泵抽气速率与入口压力的关系曲线

图4:油扩散泵抽气速率与入口压力的关系曲线

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