油扩散泵的常见故障及原因

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由于真空设备长期运转及其它一些因素的影响,扩散泵的性能可能会逐渐变坏,现将使用中经常出现的一些问题如述如下;

1)极限真空变低,原因:

a.系统中有渗漏;

b.系统太脏;

c.泵油污染;

d.加热功率不够;

e.冷却水不足;

f.过量或过冷的冷却水;

g.前级压力高;检查密封性能及前级管道是否有泄漏现象;

h.快冷管内有水。

2) 抽气较慢,原因:

a.加热功率低;

b.油量不足;

c.喷帽安装位置不当或受损。

3)进口压力波动,原因:

a.加热器输入功率不当;

b.油脱气;

c.扩散泵进口前面系统有渗漏。

4)工作腔污染大,原因:

a.前级压力高;

b.在高于10-1Pa压力下长期工作;

c.系统操作有误。

5) 返油率过大,原因:

a. 顶喷嘴帽松动,间隙过大;

b. 加热功率不对;

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