真空发生器吸附响应时间的计算和实验验证

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)清华大学工程力学系 作者:姚朝晖

          根据真空发生器系统的理论模型和求解方法,利用实验得到的流量特性就可以进行真空发生器系统吸附响应时间的计算,为了验证计算结果的正确性,进行了真空发生器吸附响应时间的实验验证,见表1和表2。表中的吸附响应时间均是指吸盘处到达最终真空压力pV的63%的时间。图4为ZM072H真空发生器

吸附响应时间( ZM072H型真空发生器 

表1  吸附响应时间(ZM072H型真空发生器、供给压力为300kPa)

和ZH20DS 型真空发生器在不同供给压力下的流量特性曲线,图5 为吸盘处真空压力随时间的变化曲线。由表1 ,表2 及图5 可以看出计算结果与实测值符合得相当好,而由经验公式得到的预估值与实测值有较大的差距。

不同型号真空发生器的流量特性曲线 

不同型号真空发生器的流量特性曲线 

图4  不同型号真空发生器的流量特性曲线. (a) ZM072H型真空发生器流量特性; (b) ZH20DS型真空发生器流量特性

表2  吸附响应时间(ZH20DS型真空发生器、供给压力为500kPa)

吸附响应时间( ZH20DS 型真空发生器 

 吸盘处真空压力随时间的变化曲线 

图5  吸盘处真空压力随时间的变化曲线. (a) ZM072H 型真空发生器后接<8/6长510m配管; (b) ZH20DS型真空发生器后接<6/4长510m配管

          利用瞬变流理论建立了真空发生器系统吸附响应时间的计算模型,计算了不同真空发生器在不同配管尺寸和长度下的吸附响应时间,并与实测进行了比较,发现计算值与实验值吻合相当好,由此可以认为,所建立的计算模型是正确的,它克服由经验公式T=V×60/Q进行预估的三大不足之处,为自动化中的精密控制奠定了理论基础。

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