立式涡轮分子泵与卧式涡轮分子泵结构比较

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)东北大学 作者:张以忱

  当前涡轮分子泵的结构有立式v与卧式涡轮分子泵之分。入口的气流与旋转轴平行的涡轮分子泵属于立式的;进入气流垂直于旋转轴中心的涡轮分子泵属于卧式的。这种卧式泵,进入气体对称分为两半,直角转向两侧分别进入两侧相同的转子定子叶栅中,由两侧气流汇集于共同的出口。这两种形式的泵又称单端泵和双端泵。这两种泵市场上均有出售。

卧式涡轮分子泵

  卧式涡轮分子泵特点是其转子主轴水平布置。这种结构的分子泵是双轴流的,吸气口在两组抽气单元的中央,气体吸入后,分别被左右两侧的叶列组合抽走。轴承分别装在各抽气单元的排气侧,见图 1 。

卧式涡轮分子泵结构示意图

1.动片 2.定片 3.进气口 4.轴 5.轴承 6.排气口

图1:卧式涡轮分子泵结构示意图

  卧式涡轮分子泵的特点是抽气时转子受力均匀,轴承定位、受力状态好,使用寿命长,且轴承更换过程中,转子位置不动,维修方便。

立式涡轮分子泵

  立式涡轮分子泵结构如图 2 所示。

立式涡轮分子泵结构示意图

图2:立式涡轮分子泵结构示意图

  立式涡轮分子泵的转子轴垂直安装,只有一组抽气组合叶列。转子叶轮高速旋转时,被抽气体沿着转子组和定子组自高真空端向低真空端压缩,被驱向前级,由前级泵抽走。泵由泵壳、涡轮叶列组件和电动机等组成。现代涡轮分子泵转子和定子之间的间隙较大,通常在 lmm 左右,因此泵工作时很安全。立式泵的装配工艺要比卧式泵简单,所以立式泵发展很快。

  轴承润滑方式有油脂润滑、油绳润滑和离心供油润滑等方式。分子泵轴承润滑油的性能必须具备以下三个条件,才能满足泵的工作要求:a. 高速下具备良好的润滑性能;b. 饱和蒸气压低于前级泵工作液的饱和蒸气压;c. 粘度适当,使之兼有轴承冷却液的作用。

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