滑阀式油封机械泵的工作原理

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)东北大学 作者:张以忱

  滑阀泵应用范围和使用条件与旋片泵基本相同。

  滑阀泵因其结构特点,容量比旋片泵大得多,常用在大型真空设备上。滑阀泵有单级和双级两种形式。单级泵的极限压力对小泵≤0.6Pa,对大泵≤1.3Pa,双级泵的极限压力≤0.06Pa(均关气镇)。

  滑阀泵的旋转质量有较大偏心 ,如没有很好的质量平衡,会产生较大振动。但泵旋转质心的运动轨迹是形状复杂的封闭曲线,很难实现对滑阀泵惯性力的完全平衡。

  滑阀泵的振动限制了泵转速的提高,泵转速一般在350~600r/min,个别也有达1000r/min以上的。

  新型三腔滑阀泵的出现,较好地解决了滑阀泵的质量平衡,使泵的振动得到了有效的控制,泵转速也可相得到提高。

滑阀泵工作原理图

图1 滑阀泵工作原理图

  泵主要由泵体、偏心轮、滑阀组件和导轨等组成。

  与泵腔同心的驱动轴带动偏心轮旋转,偏心轮带动滑阀环运动,使滑阀杆在导轨中上下滑动和左右摆动。滑阀将泵腔分成A、B两个部分。当驱动轴按图中所示方向转动时,A腔容积增加,压力降低,气体经滑阀杆A腔一侧的开口进入A腔,此时处于吸气过程。当滑阀处于左上方位置时(图3-16c中),A腔容积达最大,此时进气口与A腔隔绝,完成吸气过程;B腔容积减小,压缩气体。当B腔内气体压力达到排气压力时,推开油封的排气阀,开始排气。当滑阀处于左上方位置时,排气终了。

滑阀泵结构图

1.泵盖 2.气镇量调节阀 3.导管 4.逆止阀 5.油气分离器

图2 滑阀泵结构图

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