滑阀式真空泵的结构原理图及工作原理

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  滑阀式油封机械泵(简称滑阀式真空泵滑阀泵)同旋片泵一样,也是一种变容式气体传输泵。滑阀式真空泵的抽气原理与旋片泵相似,但两者结构不同。滑阀式真空泵是利用滑阀机构来改变吸气腔容积的,故称滑阀泵。

  滑阀泵由于其结构特点,容量比旋片泵大得多,因此常常被用在大型真空设备上。滑阀泵有单级滑阀泵和双级滑阀泵两种型式。单级泵的极限真空度对小泵≤0.6Pa,对大泵≤1.3Pa(均关气镇),双级泵的极限真空度≤0.06Pa(关气镇)。抽速大于150L/s的滑阀泵多采用单级型式。这种泵可单独使用,也可作其它泵的前级泵用。

  滑阀泵的结构主要由泵体及在其内部作偏心转动的滑阀、半圆形的滑阀导轨、排气阀、轴等组成(见图1)。

滑阀式真空泵的结构原理图

滑阀式真空泵的结构原理图

  泵体中装有滑阀环(4),滑阀环内装有偏心轮(3),偏心轮固定在轴(2)上,轴与泵体中心线相重合。在滑阀环上装有长方形的滑阀杆(5),它能在半圆形滑阀导轨(7)中上下滑动及左右摆动,因此泵腔被滑阀环和滑阀杆分隔成A、B两室。泵在运转过程中,由于A、B两室容积周期性地改变,使被抽气体不断进入逐渐增大容积的吸气腔;同时,在排气腔随着其容积的缩小而使气体受压缩,并通过排气阀排出泵外。

滑阀式真空泵的工作原理

  双级型的滑阀泵,实际上是由两个单级泵串联起来的。它的高、低真空室在同一泵体上,有的是直接铸成一个整体,有的是压入中隔板把泵腔分成高、低两室。

  由于滑阀泵的旋转质量有较大的偏心,如果滑很好的质量平衡,在运转时会产生较大的振动。但泵旋转质心的运动轨迹是形状复杂的封闭曲线,因此很难实现对滑阀泵惯性力的完全平衡。做好滑阀的质量平衡,减少泵的振动一直是滑阀泵需要解决的一个重要课题。

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