罗茨泵与前级泵性能关系

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)真空技术网整理 作者:剑气书生

            机组的性能与罗茨泵的性能密切相关,而罗茨泵的性能又随前级泵的不同而有所不同。

1)由于罗茨泵的转子与转子之间、转子与壳体之间存在着间隙,因此有返流存在,而这种返流受进口压力和出口压力的影响,即使是同一台罗茨泵,使用不同的前级泵时,其抽气速率也会有所不同。

  罗茨泵的抽气速率可由下式确定:

   δ=δ0(P2/P1/K)

  式中:δ0-设计的抽气速率;

     P1-进口压力;

     P2-出口压力;

     K-固有常数,由该泵转子的形状、间隙量、转子圆周速度和出口压力来确定。

  由上式可知,抽气量受到出口压力与进口压力之比的影响,亦即若增加前级泵的抽气速率,那么罗茨泵的抽气速率也会增大。

(2)极限压力由泵的抽气速率,各间隙的返流量,泵体泄漏量及高真空侧的放气量所决定。即:

   P0=(Q1+Q2+Q3)/δ

   式中:P0-极限压力;

     δ-抽气速率;

      Q1-返流量;

      Q2-泄漏量;

      Q3-放气量。

  在这些参数中,Q1受排气压力即前级泵的极限压力的影响很大,在用水环泵作前级泵时,罗茨泵的极限压力随水环的饱和蒸汽压的不同而不同。

  图6是用同一台罗茨泵配不同的前级泵时的性能比较。

         

罗茨泵与前级泵性能关系
            从图可见,前级泵的极限真空度愈高时,机组的极限真空度也随之增高;两级罗茨泵串联使用,则能提高机组的极限真空度(实质上就是前一个罗茨泵为后一个罗茨泵的前级泵),且性能曲线平缓扩大,也即使用的范围扩大(由曲线1与2,曲线3与5的比较而得)。机组1、2的曲线大致相同。同样,机组3、4、5的曲线也有相同之处。然而1、2机组曲线和3、4、5机组曲线却是完全不同的两组曲线。这说明对于同一罗茨泵而言,选用不同的前级泵时,其机组的性能曲线有本质的差异。由此可见,前级泵对机组性能有相当大的影响。

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