氦质谱检漏灵敏度分析方法(2)
2008-11-05 admin 真空技术网整理
表 2 检漏仪接低真空侧节流阀6圈，机械泵二通阀全开 (全分流)
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序号
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开 V Qs
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关 V Qs
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信号变化/mV
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均值 q min /(Pa × m 3 /s)
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1
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0.074 ′ 1 ′ 10 - 8
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0.068 ′ 1 ′ 10 - 8
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60
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9×10 - 11
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2
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0.071 ′ 1 ′ 10 - 8
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0.065 ′ 1 ′ 10 - 8
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60
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3
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0.068 ′ 1 ′ 10 - 8
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0.064 ′ 1 ′ 10 - 8
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40
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表 3 节流阀6圈，机械泵二通阀全关(不分流)
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序号
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开 V Qs | 关 V Qs | 信号变化/mV | 均值 q min /(Pa × m 3 /s) |
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1
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0.058 ′ 1 ′ 10 - 8 |
0.051 ′ 1 ′ 10 - 8 |
70 |
6.8×10 - 11 |
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2
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0.057 ′ 1 ′ 10 - 8 | 0.050 ′ 1 ′ 10 - 8 |
70 |
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3
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0.056 ′ 1 ′ 10 - 8 | 0.049 ′ 1 ′ 10 - 8 |
70 |
对上述两种连接方式进行了测试（检漏系统用标准漏孔漏率为2.4′10-9 (Pa·m3/s)，Qmin为1.8′10-11 Pa·m3/s）。检漏仪两种连接方式的测试结果：全分流时，接高真空侧读数变化为2.5~4mV，qmin在1′10-9 Pa·m3/s量级；接低真空侧读数变化均值为53mV，qmin在1′10-11Pa·m3/s量级；不分流时，接低真空侧读数变化在70mV，qmin在1′10-11 Pa·m3/s量级。测试结果与理论分析结果相符。
