真空混合漏孔的检漏方法(1)

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)东南大学电子工程系 作者: 堵国梁

         真空混合漏孔,如漏孔通道内含有空腔、毛细管道等,示漏气体除存在超长反应时间外,还存在超长的延迟时间和保持时间。只有经该延迟时间后,检漏仪才能探得信号。为满足真空元件在生产中的快速检漏的要求,又避免常规质谱检漏法漏检混合漏孔的可能性,在真空室内对检漏元件集体充氦,然后在保持期内逐个检测氦气浓度来判断有无混合漏孔;也可用质谱计比较残余气质谱图中空气成分来确定。

        实验真空系统如图2 所示,以分子泵为主抽泵。被检传感器为购买的工业产品。截止阀关闭时,电离真空计指示真空度为10-4~10-5Pa,打开截止阀,压强升高到(1~2) ×10-4Pa 。经多次开闭后,得到图3所示的稳定残气质谱图,实线为阀关闭的质谱图,虚线为打开的质谱图。两者的差别主要是N2(28)和O2(32),其他峰强度几乎没变,这证明被检传感器确实漏入了空气。图3中Ii为离子流,为相对值。

实验真空系统原理图 

图2  实验真空系统原理图

残气质谱图

图3  残气质谱图

  当真空系统抽到10-4Pa后,关闭截止阀,用0.1Pa分辨率的薄膜真空计进行静态压强时间曲线测定,以求得实际漏率值,该曲线如图4 所示。图4所示曲线基本是一条良好的直线,这也说明是漏气因素造成的。再仔细研究这条直线:在起始OA 段,平均漏率为1.63×10-3PaL/s ,而在终止段BC,平均值为1.42×10-3 PaL/ s。如果把被检传感器先处于真空状态,如隔一夜,然后再测试,则整条直线的各段斜率均接近原BC段值。

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