GB/T 18193-2000 真空技术 质谱检漏仪校准(2)

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)国家质靛技术监督局 作者:中华人民共和国国家标准

2.4.4分子漏孔molecular leak

         漏孔的质量流率正比于流动气体分子质量平方根的倒数的一种漏孔。

2.4. 5砧滞漏孔viscous leak

         漏孔的质量流率正比于流动气体钻度的倒数的一种漏孔。

2.4.6 校准漏孔calibrated leak

         在规定条件下,对于规定气体已知质量流量的一种漏孔。

2.4.7 标准漏孔standard leak

         在标准状态下,漏率已知的校准漏孔,即漏孔一端温度为(23士7)0C,压力为(100士5) kPa,而另一端压力较低致使对漏率的影响可以忽略。

2.4.8 虚漏virtual leak

         在系统内,由于气体或蒸气的放出所引起的压力增加。

2. 5 漏率leak rates

2.5. 1 漏率leak rate

         在规定条件下,规定气体通过漏孔的流量(单位为Pa " m' " s-'),

         注:体积流率另一称呼是“抽速”。当规定了温度和气体分子质量时,流量和质量流率是等值的。

2.5.2 标准空气漏率standard air leak rate

         在规定的标准状态下,露点低于一25℃的空气通过一个漏孔的漏量。该标准状态是人口压力为(100士5) kPa,出口压力低于1 kPaI温度为(23士7)0C a

2.5. 3 等值标准空气漏率equivalent standard air leak rate

         对于低于10-'-10-' Pa " m' " s-’标准空气漏率的分子漏孔,氦(分子量4)流经这样的漏孔比空气(分子量29.0)更快,即氦流率对应较小的空气流率,规定条件下,等值标准空气漏率为、反下- -4-/万 =0.37氦漏率。

2.6 检漏仪的操作operation of the leak detector

2.6.1峰值peak

         当检漏仪用现有的气体作扫描时,在图形记录器上显示的最大轨迹(通常检漏仪对这个探索气体是灵敏的)。

2.6.2调峰peak

         调整份漏仪的扫描控制(见2.6-3),使得由于探索气体的输人和输出信号最大。

2.6.3 扫描scan

         改变检漏仪的加速电压(或其他等值工作参数),其改变范围内包括探索气体产生峰值的电压。

2.6.4 调谐tune

         在检漏技术中,调整检漏仪的一个或多个控制,使其对探索气体响应变得最大。仅利用扫描控制调谐叫做脉冲峰化。

2.6.5 调零zero

         调整补偿或调零控制,使得检漏仪的输出指示在刻度盘的零处或某些其他标准点上。

2.7 灵敏度术语sensitivity terms

2.7.1 灵敏度sensitivity

         仪表输出变化与引起响应的输人变化的比.

2.7.2 最小可检信号minimum detectable signal

         由于引进探索气体而产生的噪声和漂移信号之和。

2.7.3最小可检漏孔,最小可检漏率minimum detectable leak.minimu二一detectable leak rate

         由漏孔的标准空气漏率确定的,能够用检润仪明显检出的最小漏孔。最小可检漏率是由在离子源测量的探索气体的体积流率qt.‘和在离子源中测定的探索气体的最小分压力户。所决定的,根据公式:最小可检漏率=Pa X 4vi最小可检漏率为最小可检信号和灵敏度之比。注:考虑到本底、休积流率(抽速)和时间因素的测定最小可检漏率的实用程序

2.7.4 最小可检浓度比minimum detectable concentration ratio

         当混合物以规定的速率被输人检漏仪时,检漏仪能明显检出在一种空气混合物中给定探索气体最小浓度比。本标准中,最小可检漏率可用从观察检漏仪对已知氦一空气混合物的浓度响应比计算(见3.5)。

2.8时间因数Time factors

2.8门时间常数r time constant

         仪器或系统的输出变化所需要的时间间隔,该间隔是1-告或由于突然输人变化而导致极限(稳定状态)63%的输出变化。

2.8.2响应时间response time

         从零或小的漏率指示到正的或较大的漏率指示的变化所对应的时间常数。

2.8.3 清洗时间;清除时间cleanup time,clearing time

         从正的漏率指示到一个小的或零漏率指示的变化所对应的时间常数。注:假设响应时间和清洗时间是相等的。

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