一种钙钛矿结构薄膜材料复数光学常数的反演

　　一种钙钛矿结构薄膜材料复数光学常数的反演

　　吴春华^1* 邱家稳² 许 旻¹ 张佰森¹ 王洁冰¹ 李 林¹ 赵印中¹ 左华平¹

　　1.兰州空间技术物理研究所表面工程技术重点实验室；2.中国空间技术研究院研究发展中心

　　摘要 为了获得一种钙钛矿结构镧锶锰氧La_0.8Sr_0.2MnO₃ 薄膜材料的复数光学常数，利用光学薄膜原理和数学优化方法，并基于钙钛矿结构材料的色散模型，对磁控溅射技术制备的不同厚度的镧锶锰氧薄膜在波数400～1250 cm^-1 范围内的反射光谱进行了全谱拟合，并由拟合参数确定了薄膜的复数光学常数。

　　拟合结果显示，测试光谱和拟合光谱具有高度的一致，说明了此色散模型及全光谱拟合法在确定La_0.8Sr_0.2MnO₃薄膜复数光学常数的有效性和精确性。

　　关键词 La_0.8Sr_0.2MnO₃ 薄膜 光学常数 光谱拟合 数学优化