微压式数字活塞压力计测量不确定度的评定

2013-04-02 魏万印 中国航天科技集团公司五院

微压式数字活塞压力计测量不确定度的评定

魏万印，李得天，冯焱，成永军

(中国航天科技集团公司五院510 所)

　　摘要：粗低真空校准技术广泛应用于航空航天等高科技领域。中国航天科技集团公司五院510 所建立的粗低真空校准装置的核心是数字活塞压力计，在30Pa-11kPa 校准范围内采用了Furness 公司的FRS5 微压式数字活塞压力计作为主标准器。

　　本文分析了FRS5 微压式数字活塞压力计在绝压模式下的测量不确定来源，并对各项不确定度分量进行了评定，最后给出了测量不确定度。