微压式数字活塞压力计测量不确定度的评定

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)中国航天科技集团公司五院 作者:魏万印

微压式数字活塞压力计测量不确定度的评定

魏万印,李得天,冯焱,成永军

(中国航天科技集团公司五院510 所)

  摘要:粗低真空校准技术广泛应用于航空航天等高科技领域。中国航天科技集团公司五院510 所建立的粗低真空校准装置的核心是数字活塞压力计,在30Pa-11kPa 校准范围内采用了Furness 公司的FRS5 微压式数字活塞压力计作为主标准器。

  本文分析了FRS5 微压式数字活塞压力计在绝压模式下的测量不确定来源,并对各项不确定度分量进行了评定,最后给出了测量不确定度。

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