冷阴极电离真空计非线性校准方法研究

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)兰州空间技术物理研究所 作者:刘珈彤

冷阴极电离真空计非线性校准方法研究

刘珈彤,赵澜,李莉,刘赐贤,马奔

(兰州空间技术物理研究所,甘肃 兰州 730000)

  摘要:主要介绍了冷阴极电离真空计结构、工作原理及冷阴极电离真空计的校准方法和校准装置,并对校准数据进行了处理。由于冷阴极电离真空计为非线性真空计,通过比较,校准结果采用了校准曲线的方式,可提高校准的准确度,减小校准不确定度,保证真空测量的可靠性。

  关键词:冷阴极电离真空计;校准方法;校准装置;不确定度;校准曲线

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