磁悬浮转子真空计的特点

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  1、磁悬浮转子真空计与压缩式真空计同属于标准真空计,但其量程较宽(10-1~10-5 Pa)。用它做互校传递标准计,累积误差小、可靠性和重复性好。

  2、磁悬浮转子真空计是无源器件,其规管内部没有高速电子和离子,没有热丝,不存在热及辐射效应。

  3、转子规管体积小,吸气和放气现象完全可以忽略,不会影响被测空间的气体成分和压力,特别适用于不允许规管与气相彼此作用的场合。

  4、磁悬浮转子真空计每测量一个点必须间隔半分钟,所以只能用于压力变化缓慢的真空室或密闭空间。

  5、测量精度主要取决于转速ω的测量精度和温度T的恒定,因此测量时务必维持T恒定和采用较高精度的测速技术及仪表。

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