小型电容薄膜规的设计

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)兰州空间技术物理研究所 作者:孙雯君

小型电容薄膜规的设计

孙雯君,冯焱,马奔,习振华,成永军,赵澜

(兰州空间技术物理研究所,甘肃 兰州 730000)

  摘要:由于制作工艺、使用材料等方面的限制,我国生产的商用电容薄膜规存在体积大、重量重、测量准确度不高等问题,无法满足一些领域的真空测量需求,因此研究并提出了一种小型电容薄膜规。

  为防止测量过程中温度变化导致的规管重要部件的热变形,减小电容薄膜规的测量不确定度,设计中采用了因科镍合金整体机架结构和倒T 型结构的陶瓷固定极板;并在机架顶部中央设计有防热变形结构。为消除测量过程中外界杂散电容和因温度变化而引起的测量信号偏差,设计中采用了面积相同的双电极结构。

  小型电容薄膜规整体尺寸小于Φ40mm×24mm,重量小于200g,测量下限可低至10-2 Pa,测量不确定度小于5%,可适应较宽的工作温度范围,满足不同领域的真空测量需求。

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