磁力传动式真空动密封在真空应用设备上的应用实例

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)沈阳工业大学化工装备学院 作者:王德喜

  ① 在各种真空镀膜设备上用来传递镀膜工件及保证膜厚均匀,而要求旋转的工件架、轴的动力输入等许多方面都采用磁力传动密封装置,不但消除了O 形密封圈易泄漏、磨损和污染真空等弊病,而且也提高了镀膜层的质量和生产效率。

  ② 我国的重离子加速器上采用了磁力传动装置,在真空室中传送试验靶,安全可靠,保证了试验效果,提高了试验质量和效率。

  ③ 在一些高真空及超高真空的设备上广泛采用了磁力传动技术。比如航天技术地面模拟试验的各种真空容器与装置上所采用的磁力传动装置,操作简单可靠,而且也保证了高真空或超高真空状态下的各种环境试验。

  ④ 在一些真空工艺设备上采用了磁力传动装置。作为机械手在真空室中传递工件、旋转工件等。如真空熔炼炉中用磁力驱动装置取代了送料机构的取料机构;真空热处理炉中用磁力传动装置取代了送样机构和取样机构;真空焊接炉中用磁力传动装置准确地传送构件和取送焊接件等。

  ⑤ 一些专用的真空试验设备中也均采用了磁力传动技术。比如航空、航天技术设备中用精密轴承、微型轴承在高真空状态下的寿命试验;一些重要仪器、仪表在高真空状态下的测试实验等。这类专用真空设备要求连续运动的时间长,保证高真空状态下工作。因此传送机构及机械手均采用了磁力传动装置,运动安全可靠,满足了技术要求。

  ⑥ 磁力传动装置在一些特殊真空设备上的应用。我国第一台分子束外延设备上采用了旋转与直线运动的复合运动式磁力传动装置。作为机械手在真空室中传送样品,操作简便、结构合理、紧凑、运动安全可靠。设备采用真空无油机组,极限真空度达到6×10-7 Pa 工作真空度达到5×10-6 Pa 样品可进行150℃烘烤。我国生产的独立束源,快速换片型分子束外延设备上采用了旋转与直线运动的复合运动磁力驱动装置。磁力传动装置与全金属直通阀,组成一套超高真空室,同样从高真空室中取出样品或工件,并且在运作的过程中完成装卡工件的动作。整个过程中运行安全可靠,提高工作效率近10 倍。工作室的真空度为10-6 Pa~10-7 Pa。真空室内样品的烘烤温度为150℃。

  这里仅举几个应用实例,实际上无泄漏磁力传动真空动密封的应用前景还会更加广阔。

推荐阅读:

  无泄漏的磁力传动真空动密封

  磁力传动式真空动密封在真空应用设备上的应用实例为真空技术网首发,转载请以链接形式标明本文首发网址。

  http://www.chvacuum.com/seal/dynamic/034996.html

  与 动密封 磁力传动式真空动密封 相关的文章请阅读:

  动密封http://www.chvacuum.com/seal/dynamic/