无油涡旋真空泵的结构

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)真空技术网整理 作者:剑气书生

   无油涡旋真空泵主要部件为涡旋盘付\曲轴和密封垫.该泵的抽气——压缩——排气机理是在动、静涡旋盘相互不接触的情况下,依靠动、静涡旋盘相对转动形成吸气腔和压缩腔,将被抽气体排出,连续完成吸气、压缩和排气过程。在充分考虑抽气过程中发生热交换的情况下,尽量减少动、静涡盘问的径向和轴向间隙,可以提高抽速和极限真空度。

    针对无油涡旋真空泵结构上存在着的运转过程中水分和杂质易积聚和轴承易磨损的弱点,加气镇阀是必要的选择。

    结构上的改进主要有两点:

    ①.加气镇阀使极限真空度保持要求值——进气压力O.03MPa(G)以下,流量lOL/min以下。

    ②.轴承端面加双侧密封圈密封,有效防止轴承磨损。

    在无油涡旋真空泵的设计过程中,需要解决的问题包括:

    ①.涡旋泵的CAD设计一一型线方程的确定及修正,初始角修正,运动模拟;

    ②.涡旋盘的加工一一加工精度、加工工艺间隙的大小:抽速、极限真空度;

    ③.涡旋盘的表面处理一一耐腐蚀、润滑、硬度、处理工艺、表面均匀性;

    ④.密封垫材料的选择与加工——密封垫要求有弹性、耐磨、不产生微粒。

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