制氧/微电子系统用真空泵油的选型

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)真空技术网整理 作者:剑气书生

  全氟聚醚油,英文简称PFPE。它由碳、氧、氟原子组成,属于耐腐蚀性气体真空泵油分类中的ISO-6743A—1987\DVB、DVD、DVF类油品.该真空泵油碳氢键中的氢原子全部为氟原子取代,由其分子结构特点决定,具有绝佳的热稳定性、化学惰性、不燃性。当受到电子或离子轰击时,不产生聚合物,不与活性气体反应,具有优良的氧化安定性,热稳定性、化学试剂的惰性和不燃性。具有优良的抗臭氧、能够在VF6、F、PH3、AsH3及其它卤素化合物(BF3、BCI、PCI3、TiCI4、SnCI4、 SiCI4)等酸性气体存在的环境中保持稳定。甚至在高温下也有一定的抗腐蚀作用。与常规的真空泵油比较可在长时期内保持优良的性能。

  该类真空泵油为无色透明的液体,密度较大(可达1.95g/cm3 ,20℃时) 、粘度指数高、表面张力低、折射率低、倾点低。可用于有制氧系统和有腐蚀气体的半导体系统和强辐射的场合。

  国外的品牌如:意大利蒙特迪生Fomblin oil的YL-VAC、YH-VAC;法国阿尔卡特Alcatel 113;英国爱德华公司Krytox 1506、1514、1525;Fomblin 06/6、16/6、25/6;德国Leybold HE-1200、HE-1600、HE-2700;日本真空R-90、R-95油等。国内生产全氟聚醚油目前有重庆一坪,长城石化。

表16.15  全氟聚醚油的典型理化性能指标 (据Fomblin®资料)

项目

质量指标

YL-VAC

YH-VAC

06/6

14/6

25/5

18/8

25/9

蒸汽压/kPa
20℃
100℃
150℃
200℃

 

2.5×10-9
3.9×10-4
9.1×10-3
7.7×10-2

 




 




 

10.6×10-10
1.3×10-5

3.0×10-2

 

10.6×10-11
10.6×10-7

2.7×10-3

运动粘度/(mm2/s)
20℃
100℃
150℃
200℃

 

58
15
4

 

130
32
7.4

 

260
60
12

 

190

9
2.0

 

285

12
2.6

密度(20℃)/ g/cm3

1.88

1.89

1.90

1.89

1.90

倾点/℃

-50

-40

-35

-42

-35

粘度指数

70

110

斜率

0.65

0.07

比热容/[J/(g·℃)]

1.00

1.00

1.00

1.00

1.00

热导率(20~150℃)/[W/(m·K)]

(8.8±0.4)
×106

(8.8±0.4)
×106

(8.8±0.4)
×106

(8.8±0.4)
×106

(8.8±0.4)
×106

粘均相对分子质量

1800

2450

3250

2850

3400

蒸发热(1.3KPa,200℃)/(J/g)

46.05

37.68

29.31

馏分范围(10%~90%,53Pa)/℃

157~186

沸点(13Pa)/℃

155

200~230

210~240

挥发度(22h,145.9℃)(%)(质量分数)

2.6

表面张力(25℃)/(N/m)

1.9×10-6

2.0×10-2

2.0×10-2

2.0×10-2

2.0×10-2

折射率(n020)

1.2928

1.2992

自燃点/℃

闪点/℃

燃点/℃

外观

无透明

无透明

无透明

无透明

无透明

用途:FomblinYL- VAC06/6 (相当于VG22),主要用于润滑涡轮分子泵轴承FomblinYL -VAC014/6 (相当于VG46)、YL- VAC25/5(相当于VG100),可用于超净和安全的真空系统,如扫描发射电子显微镜、质普仪、粒子加速器、有腐蚀性气体的微电子真空系统。FomblinYH-VAC 18/8、25/9主要用作扩散泵工作液。

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