余摆线真空泵工作原理及抽气过程

　　余摆线真空泵的转子与泵腔的型线均为“余摆线”。目前真空行业中广泛使用的油封式机械真空泵大多是中、小型的旋片泵和中、大型的滑阀泵。旋片泵在较脏的工作条件下，旋片泵在转子槽中卡住。尽管滑阀式真空泵对这一缺点有一定程度的克服，但由于滑阀的质心相对回转中心的距离不是定值，虽然在结构上采取了一些动平衡措施，但尚不能达到完全平衡，故振动难以完全消除。尤其泵的容量越大，振动亦更大。同时上述两种泵，特别是滑阀泵与其排气量相比外形尺寸显得较大。这些缺点迫使人们去研制新型结构的真空泵。德国于 1964 年开始根据汪克尔汽车转子发动机原理进行了余摆线真空泵的研制，于1967年在国际真空科学年会上展出了试验样机，于1972年底开始批量生产。我国随着真空技术的发展，抚顺真空设备厂与东北大学合作，于1975年研制出我国第一台YZ-150型余摆线真空泵，现已批量生产。

余摆线真空泵工作原理

　　如图所示， R1是小齿轮5的节圆半径， R2是大齿轮4的节圆半径， R2=2R1。O1M 是转子型线的创成半径且与 O1 圆相固联。当动圆 O1 在定圆 O2 的内圆周上作纯滚动时， M 点画出的轨迹便是转子的理论型线──余摆线。固定在泵体上的小齿轮 5 和固定在转子上的大齿轮 4 是一对内啮合齿轮。当曲柄 3 驱动转子沿小齿轮作行星运动时，泵体上的 M 点永远与转子理论型线接触，而泵体的理论型线则是转子理论型线曲线族的外包络线。转子型线的内包络区域永远被转子侧面所覆盖，如在侧盖上开设气镇孔时，则应避开该区域。

图：余摆线真空泵工作原理图及传动机构图

余摆线真空泵的抽气过程

　　当转子位于图中虚线位置时，泵腔被分成三个部分：吸气腔、封闭腔和排气腔。当转子按箭头方向转动时， B 腔与排气口连通， A 腔继续吸气。转子相对泵体转一周进行两次吸排气。从行星轮系传动比的计算可知，泵轴转一圈，转子转半圈。所以，泵轴转一圈，吸、排气各进行一次。

　　通过上述分析可知，因转子质心与回转中心的距离为定值，故余摆线泵的偏心质量可以完全得到平衡。