螺旋干式真空泵的结构与工作原理

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)东北大学 作者:杨乃恒

         螺旋干式真空泵,是根据螺杆式压缩机的工作原理作成的。最近开发的这种泵共有两种结构。

① 螺杆式真空泵((Lysholm型)

        在螺杆式压缩机中,螺旋转子的螺旋圈数在一圈以内,而螺杆真空泵的圈数如图6所示那样在2圈以上, 这样可减少返流量, 提高压缩比, 单级泵可从大气压抽到1Pa的极限压力,抽速为60~ 120m3/h,有市售产品。

螺杆泵的抽气原理 

图6 螺杆泵的抽气原理

② 矩形螺旋式真空泵

         如图7 所示, 有矩形断面的右螺旋和左螺旋的一对转子相啮合, 由同步齿轮带动实现非接触式的高速运转, 气体由上侧进入, 在泵腔内压缩由

矩型螺旋式真空泵 

图7 矩型螺旋式真空泵

          转子下端排除,转子旋转一周排气一次。转子和泵体内表面形成一种螺旋密封结构, 矩形断面间隙泄漏较少,故可得到较高的压缩比, 泵的压缩比和抽速与转子的螺旋导角,转子与泵体的间隙,螺旋的啮合率,螺旋圈数,转子直径和旋转速度等因素有关。由于它的螺旋圈数多, 比上述的螺杆式干泵的压缩比高, 而抽速低, 这种泵可从大气压抽到极限压力10-1Pa,抽速为40~80m3/h的泵有市售。

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