Edwards Spectra-G 尾气处理系统荣获最佳产品大奖

　　由全球领先的高精真空设备和尾气处理系统制造商及相应增值服务供应商Edwards集团公司研发的Spectra-GTM3000尾气处理系统，由于其减少发光二极管(LED)制造污染和成本的重要作用，赢得《工厂工程》杂志2012年“环境健康”类的“年度最佳产品”奖。

　　“我们很高兴赢得这一声名显赫的大奖，”Edwards LED部门全球市场经理Shao Wei说，“ Spectra-G 3000让全球LED制造商减少其业务对环境的影响，同时降低他们的运营成本。非常高兴看到Edwards以环境责任奉献最新技术的承诺已得到认可。”

　　中国的“十二五计划”强调节能环保，它对于企业发展节能科技有一定的优惠待遇，同时对于碳排放，水质中的氮化物污染和空气中的氮氧化物污染都设定了硬性指标。

　　将节能的LED灯用于普通照明和特殊应用(例如电脑和电视的平板显示器背光(FPD))预计将对能源消耗和碳排放强度(间接)的降低带来重大贡献。但是，大规模LED制造可能产生氮化物和氮氧化物排放，这些排放物必须进行处理。

　　Edwards的Spectra-G 3000系统是一种先进的尾气处理系统，为处理LED制造采用的有机金属化合物气相沉积(MOCVD)工艺中出现的大流量氨气和氢气而专门设计。它利用燃烧工艺将这些气体转化为无害的氮气和水蒸汽。由于该工艺不使用外部的水，完全消除了供水的氮化物污染。燃烧过程的精确控制使氮氧化物的排放量大大低于许可的水平。氢气的燃烧消除了制造设施下游设备的火灾或爆炸危险。

　　由于来自MOCVD工艺的氨气和氢气的燃烧供应了大部分能量，这使得该系统显着减少了总体营运成本。同时也极大地减少了燃料成本和烃燃料的碳排放。由于燃烧后我们使用空气而不是水进行冷却，因此空气可以进行热交换去收集并回收利用热量，这进一步减少了制造设施的能耗和碳足迹。最后，该系统的耐用设计和燃烧工艺的简洁性最大程度减少了设备维护成本。