EDWARDS公司IPUP2真空泵创立加载互锁和输送腔体应用新标准

来源:Edwards公司

EDWARDS 公司IPUP2 真空泵创立加载互锁和输送腔体应用新标准

  第二代泵的先进设计取得初步成功

  英国西萨克斯郡克劳雷 (2013年7月16日)- 精密真空产品和尾气处理系统领先制造商和相关增值服务领先供应商Edwards集团有限公司(纳斯达克代码:EVAC)已经推出了针对应用材料公司制造平台的加载互锁和输送腔体应用的全新集成式真空泵IPUP2。该第二代泵在加载互锁抽真空时间、能耗和维护要求方面具有明显优势,这些先进性能结合起来为其带来同类最佳的性能和拥有成本。该泵已经获得初步成功,在应用材料公司的多类新设备平台上取得了使用认证,并且已经向主要半导体制造商提供超过180套系统。

  Edwards公司销售总经理马克•格林(Mark Greene)评论说:“我们非常努力地工作,达到并超越应用材料公司对新一代泵的要求。IPUP2先进的设计减少抽真空时间50%左右,能耗节约70%,在大修间隔期免维护。很多半导体制造厂商,甚至那些与我们竞争对手长期合作的制造厂商, 很快通过这些订单认识到了IPUP2的抽气能力和拥有成本优势。”

  IPUP2是为满足应用材料公司的加载互锁和输送腔体抽真空规格而设计。IPUP2的抽气速率和功率曲线得到了优化,以增加机台产出能力,最大抽速可达180 m3/h,与第一代相比快89%,抽真空时间缩短54%,同时能耗节约70% (使用“绿色模式”还可进一步节能)。该泵中采用的精密轴承确保运行平稳、低震动,机油润滑的轴承和定时齿轮使得大修之间无需常规维护。IPUP2包括水平和垂直进气口,其尺寸和配置能够与前一代泵直接互换。在测试中该泵的得分很高,平均故障间隔(Semi E10标准的MTBF)为5年,可实现超过300万次加载互锁工作循环。

  现在IPUP2可见于应用材料公司的机台或直接由Edwards获取。更多资讯,请与当地的销售代表联络。

关于Edwards

  Edwards公司是全球领先的半导体、平板显示器、LED和太阳能电池制造领域高精真空设备和尾气处理系统制造商及相应增值服务供应商,是工业、镀膜、钢铁、冶金、制药、化工、科学仪器行业以及广泛的研发应用领域的真空技术领导者。

  Edwards在全球拥有3,200多名全职员工和500多名临时员工,他们在世界各地约30个国家和地区从事高科技真空和尾气处理设备的设计、制造和支持工作。

  Edwards公司的美国存托股票(American Depositary Shares)在纳斯达克全球精选市场(NASDAQ Global Select Market)上交易,交易代号为EVAC。要了解有关Edwards的更多信息,请访问公司网站www.edwardsvacuum.com。