各种充压检漏法和最小可检漏率

2008-09-24 真空技术网 真空技术培训讲座

检漏方法 工作条件 现 象 设 备 最小可检漏率(Pam3／s) 备 注
水压法   漏水 人眼 10-3～100-4  
压降法 充3×105Pa空气 压力下降 压力计 1×10-3  
听音法 同上 咝咝声 人耳 5×lO-3 可用听诊嚣
超声法 同上 超声波 超声波检测器 1×10-3  
气泡法 同上 水中气泡 人眼 10-5～10-6  
同上 水中气泡 人眼 10-9 24h积累
同上 涂沫肥皂液发生皂泡 人眼 1×10-5  
氮气检漏法 充3×105Pa氨气 溴代麝香草酚兰试带变色 人眼 10-7 观测20s
同上 溴酚兰试纸变色 人眼 10-11 24h积累
充2.5×105Pa氨气 复合涂料显色 人眼 10-8 1.5小时积累
卤素检漏仪吸嘴法 充卤素气体 检漏仪读数变化伴有音响 卤素检漏仪 10-6～10-10 可与空气混合充入
放射性同位素气体法 充放射性气体 计数器信号变化 闪烁计数器 1×10-7  
氦质谱检漏仪吸嘴法 充氦气 检漏仪读数变化伴有音响 氦质谱检涌仪 10-8～10-10  
气敏半导体检漏仪法 充气敏气体 检漏仪读数变化 气敏半导体检漏仪