玻璃型镀铝二次表面镜的制备及其评价试验研究

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)兰州空间技术物理研究所表面工程技术重点实验室 作者:赵印中

玻璃型镀铝二次表面镜的制备及其评价试验研究

赵印中 许 旻 李 林 王洁冰 吴春华 左华平

兰州空间技术物理研究所表面工程技术重点实验室

  摘要:介绍了兰州空间技术物理研究所镀铝OSR 的制备以及及其部分评价试验情况。通过调整溅射功率、溅射气氛、沉积时间以及离子束清洗的时间等参数,结合样品的性能测试,研究了溅射功率、溅射气氛、沉积时间以及离子束清洗制备等工艺参数对镀铝OSR 产品性能的影响规律,从而优化选择出了合适的镀铝OSR 反射膜制备工艺参数;然后结合成熟的基片清洗工艺、ITO 膜制备工艺、保护膜制备工艺以及性能检测技术,最后确定了合适的镀铝OSR的制备工艺。

  随后对制备的OSR 样片先后进行了光学性能测试、电学性能测试、热学性能测试,又进行了附着力测试试验、水溶性、耐清洗、湿热老化等环境评价试验。结果表明,制备的镀铝OSR 太阳吸收率在0.112~0.123 之间,其光学性能、热学性能、电学性能及其环境稳定性能等技术指标,均可以满足其空间应用的设计要求。

  关键词:镀铝OSR 制备 评价试验

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