一种电子碰撞型离子源性能的数值模拟研究

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)兰州空间技术物理研究所 作者:张文台

一种电子碰撞型离子源性能的数值模拟研究

张文台 郭美如

(兰州空间技术物理研究所,甘肃 兰州 730000)

  摘 要:电子碰撞离子源的聚焦和离子引出效率对其工作性能有着重要影响。本文采用SIMION-3D 8.0 软件建立了一种电子碰撞型离子源模型,计算了离子的运动轨迹,采用相空间分析方法,得到静电透镜聚焦处离子的位置聚焦半径和速度聚焦半径,分析了离子源各参数对聚焦和离子引出效率的影响。

  研究结果表明当S 和α狭缝分别加负偏压时,离子束在运动过程中能够两次聚焦,从而得到很好的聚焦性能和引出效率,本文为离子源优化设计提供重要的理论依据和实验指导。

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