油密封真空泵内腔超过极限温度的原因分析

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)新中亚微电子有限公司 作者:陈勇
        引起油密封真空泵内腔超过极限温度的主要原因是①泵油太少;②由于泵油被严重污染而引起的机械损伤;③其它的机械损伤;④机械泵所不能接受的环境温度。同样, 超温也会引起易燃物燃烧范围扩大, 从而形成事故隐患。所以要对真空泵的油标指示进行常规检查, 油标指示装置内的油面与泵油的油腔是连通的, 应注意观察油标指示, 发现油少时及时给予补充。由泵油杂质所引起的机械损伤,实际上可以利用对不同的工艺选用各种合适的泵油及使用适当的过滤系统的方法来避免。

       以下三个方面是油密封真空泵安全使用中最重要的因素。我们必须采用适当的设备和装置, 来防止由于这些原因所引起的安全事故。真空技术网就此介绍具体做法如下

建立高效通畅的赶气系统

       在机械泵运转时, 用惰性气体或连接气镇, 进行赶气, 是减少泵油的挥发性物质富集的最有效的方法。其做法是, 将氮注人机械泵的压缩机, 这样可排出泵油里的挥发性物质, 使其在泵内的滞留时间大大缩短。用净化泵油, 可以防止反应气体在机械泵油面上的累积。为了准确地调整容量, 需要装一个流量计。最好能配备一套流量控制系统, 在氮气供应不正常时发出警告。

防止空气进入

       必须防止空气从上述的赶气气系统漏缝或在刹汽时进人真空泵。机械泵的赶气人口处如同一根吸管, 要防止空气偶然从管口进人。最可靠的办法是在赶气的人口处连接一根管子到的起源处中间装一个单向阀门, 该阀门只有在过压时才能打开。

泵轴的径向密封口不能泄漏

      使用清洁的泵油作为润滑剂是保证密封性能的关键。为此, 有效的泵油过滤是很重要的。

  油密封真空泵内腔超过极限温度的原因分析为真空技术网首发,转载请以链接形式标明本文首发网址。

  http://www.chvacuum.com/pumps/jixie/11508.html

  与 机械真空泵 油密封真空泵 泵温 相关的文章请阅读:

  机械真空泵http://www.chvacuum.com/pumps/jixie/