常用压降检漏法存在的问题及解决的措施(1)

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)中国空间技术研究院 作者:刘平

(1) 压降检漏法的灵敏度

        压降法检漏一般采用静态测试, 这种静态测试一般是在初始和终止检漏的某个时间间隔进行。测量的灵敏度主要和测试的间隔时间、测压仪器的最小可检压力有关。如果不考虑温度和出气效应, 延长检漏初始到终止时测量时间, 就可以提高测试灵敏度。但是, 延长检漏时间, 就会增加检漏周期, 一般在单件产品的试验生产中, 可容忍的检漏时间是24~48 小时。压力降检漏中, 当温度和压力测试的分辨率越高, 灵敏度越高, 则漏率测量也就越灵敏, 因此, 尽可能地选择分辨率和精度较高的测温计和压力计。

(2) 湿度问题

        在压力降检漏中, 被检件一般都不进行预先抽真空, 而是在大气本底的基础上充入检漏气体。检漏气体包含有水蒸汽。如果温度低于露点温度, 水蒸汽将凝结在固体表面, 这样水蒸汽的压力要从检漏气体的总压力中剔除。当温度高于露点温度, 被检件中的水蒸汽将蒸发而增加被检件空气中的总压力。水蒸汽的分压力加上气体的真实压力构成了压力降检漏过程中的总压力。如果水蒸汽的分压力在检漏过程中保持不变。由于被检件中的总压力满足理想气体方程, 水蒸汽的分压值可以剔除。然而, 当温度发生变化, 水蒸汽的凝结或蒸发对恒定体积被检件中空气的总压力将发生较大的变化。如果不对水蒸汽产生的影响进行校准, 压降检漏法将产生较大的偏差。

         在露点温度时, 空气中水蒸汽的蒸发和凝结达到了平衡, 在压力变化检漏中, 通过露点传感器测量露点温度, 就可以得到水蒸汽的分压力, 表1 中是常压、常温状态下不同露点的水蒸汽压力。1 ℃的露点温度引起的被检件中的压力变化约几百帕 。

        因此高灵敏度的压降法检漏中, 为了合理地计算漏率真值, 当被检件中的温度低于露点温度时, 必须从总压力中减去水蒸汽压力: Pg =P-Pv,这样降低偏差。

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