“一种测量极小气体流量的方法”获中国专利优秀奖

来源:510所

  近年来,随着世界各国航天技术发展和其它高新技术领域的应用需求,需要精确测量10-12 Pa·m3/s及以下量级的极小气体流量。

  国防科技工业真空一级计量站经过多年技术攻关,突破了小孔流导的精确测量、基于非蒸散型吸气剂的选择性抽气、固定流导法流量计的测量下限延伸等多项关键技术。在国际上首次提出基于非蒸散型吸气剂的固定流导法测量气体微流量的新方法,将气体微流量的测量下限延伸到10-12 Pa·m3/s的极小气体流量范围。提出基于静态膨胀法真空标准的极小气体流量测量方法,流量计的充气压力通过静态膨胀法真空标准直接产生,再次将气体微流量的测量下限延伸到10-16 Pa·m3/s的极小气体流量范围。相关技术已在超灵敏检漏、真空漏孔校准等领域得到广泛应用。

  “一种测量极小气体流量的方法”2013年获中国专利优秀奖,相关成果分别于2010年、2011年获甘肃省科技进步一等奖和国防技术发明二等奖。

一种测量极小气体流量的方法

极小气体流量测量装置实物照片

一种测量极小气体流量的方法

一种测量极小气体流量的方法-中国专利优秀奖证书