气体捕集真空泵

气体捕集真空泵主要包括钛泵、低温泵、低温容器、分子筛吸附泵、镐铝吸气泵等,这些泵的抽气特点基本都属于表面吸附,而被抽气体均未被排除到泵外。

低温泵在超高真空炉中的应用实例

本文以实例介绍了低温泵在超高真空炉中的应用; 重点介绍了低温泵真空系统的设计思路,真空系统的主要配置和注意事项,低温泵的选型计算,并用图示方法详细介绍了低温泵系

低温泵故障对低温泵抽气性能的影响
氦气的压力不足时会影响低温泵的制冷效率,低温泵的噪音只出现在低温泵处于低温时。此时极有可能是低温泵的氦气受到污染, 需要进行除污染程序。
氦气压缩机的泄漏对低温泵抽气性能的影响
氦气压缩机润滑油的泄漏和氦气压缩机的氦气泄漏会导致低温泵氦气的压力持续降低, 最终会影响低温泵的抽气性能。
吸附捕集器(吸附阱)的技术特点
吸附捕集器(吸附阱)是利用某些物质具有吸附性能(物理吸附和化学吸附)的原理来捕集可凝性蒸汽的一种捕集器。常用的吸附剂有:分子筛(沸石),活性碳,硅胶,Al2O3,P2O5等。 本文给出了常见的吸附阱的结构原理图。
冷凝捕集器(冷阱)的抽速计算公式
冷凝捕集器(冷阱)对蒸气分子的抽速类似于低温泵的抽速,是指在捕集器中的蒸气压强下,单位时间内凝结在冷却壁上的蒸气体积。本文介绍了冷阱的抽速计算方法与公式。
冷凝捕集器(冷阱)的作用和典型结构
冷阱是利用低温冷壁来捕集可凝性蒸气的一种低温冷凝捕集器,冷阱的结构型式很多,就材质而言,有金属冷阱和玻璃冷阱两类。
机械捕集器的设计原则及其典型结构
机械捕集器阻挡住直线运动的蒸气分子穿越,使其在壁板上凝结或反射回去,用这种机械阻挡的方法消除或减少蒸气分子进入被抽容器,靠机械阻挡的方法来降低油蒸气的返油率。
挡油帽的作用与主要参数计算
挡油帽一般设置在扩散泵泵芯的一级喷咀上面,这样可以大大降低油蒸气的返流。但挡油帽降低了返油率,同时也降低了泵的抽速。因此挡油帽的设计就相当重要。
低温冷凝泵的抽气特性
本文介绍了低温冷凝泵的理论抽速、低温冷凝泵的实际抽速、低温冷凝泵的极限压强、低温泵的降温时间、低温泵的工作寿命等关于低温泵的抽气特性计算公式。
低温泵的抽气原理与分类与结构
利用低温表面上的吸附剂和打在其上的气体分子发生吸附而达到抽气作用的泵叫低温吸附泵。根据所用吸附剂不同,又可分为三种类型: 非金属吸附剂泵、金属吸附剂泵、气体霜。
溅射离子泵的抽气特性
 溅射离子泵的抽气特性如溅射离子泵的极限压强、溅射离子泵的抽速、溅射离子泵在抽除惰性气体氩不稳定性、溅射离子泵对有机蒸气污染敏感等等。
溅射离子泵的结构及其抽气机理
溅射离子泵又称潘宁泵,它是靠潘宁放电维持抽气的一种无油清洁超高真空泵。是目前抽惰性气体较好的真空获得设备。溅射离子泵主要由阳极、阴极、磁场和电源四大部分组成。
钛升华泵的极限压强与抽速
钛升华泵的极限压强:可达10-10Pa。钛升华泵的抽速较大,抽速可以计算。
钛升华泵的主要几种结构
钛升华泵的结构大致可分为三部分:吸气面、热丝(或升华器)和控制器。本文主要讲叙了升华器的几种类型结构。
钛升华泵的工作原理
利用加热的方法升华钛并使其沉积在一个冷却的表面上,对气体进行薄膜吸附的抽气装置,称为钛升华泵。
分子筛吸附泵的抽气特性
分子筛吸附泵的极限压强:一般为10-2~10-3Pa,吸附泵的抽速计算公式,由此可以看出分子筛吸附泵的抽气特性。