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磁控溅射靶的磁场的优化设计
采用的是磁路叠加原理来改进磁控溅射靶的磁场,最后形成的水平磁场是接近于矩形波的双峰形式。这样靶面的磁力线和磁场强度的水平分量更加平滑, 能够有效地增加靶面跑道的宽度, 实现靶面均匀刻蚀。
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直流磁控溅射的工艺参数对铝膜沉积速率的影响
Al膜的沉积速率随着溅射功率的增大先几乎呈线性增大而后缓慢增大; 随着溅射气压的增大, 沉积速率不断增大, 在0.4 Pa 时达到最大值后, 沉积速率随溅射气压的继续增大而减小。
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高水分玉米真空低温连续干燥生产线及工艺流程
通过对真空低温连续干燥生产线工艺性分析和关键技术研究,建立了300t/d高水分玉米真空低温连续干燥工业自动化生产线,并对生产线系统进行了生产性试验和关键技术验证分析。证明了真空低温连续干燥新技术,节能高效、
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真空低温连续干燥塔结构及参数
真空低温连续干燥塔采用整体装配结构,采用模块化设计、标准化生产,易于运输和现场安装。保证高水分粮食等速、均匀下落,以便维持相同的干燥时间和降水幅度,是干燥塔设计的关键技术之一。
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真空镀铝纸印刷工艺中应注意的问题
真空镀铝除要选择质量优良的镀铝纸外,在印刷工艺设计上,应尽量利用镀铝纸的特性,扬长避短。真空镀铝纸适用于UV 油墨印刷,可用胶印、网印、凹印等,但不同的印刷方法对油墨的要求有所差异。
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山楂浆抽真空冻结的实验研究
山楂营养丰富, 食用不便, 冻干加工成山楂粉, 可作为食品添加剂。为保存营养成分, 节能降耗, 降低产品成本, 开展了对山楂浆抽真空自冻结, 优化干燥工艺的实验研究, 给出了冻干参数对冻干速率, 冻干时间, 冻干成本的影
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无栅网离子源的工作原理
无栅网离子源的工作原理类似于磁控溅射,阳极偏压在磁力线束缚电子的区域产生高密度等离子体(high ne ionization region),离子的飞行轨迹不受磁场的影响,在偏压VDC作用下加速向阴极飞行,在开口处形成能量为VDC离子束,
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电子回旋共振(ECR)离子源的工作原理
ECR离子源微波能量通过微波输入窗(由陶瓷或石英制成) 经波导或天线耦合进入放电室, 在窗上表面的永磁系统产生的高强磁场作用下, 放电室内的气体分子的外层电子做回旋运动。
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RF-CCP(电容耦合) 和RF-ICP(感应耦合)离子源的结构原理
电容耦合方式是由接地的放电室(由复合系数很小的材料如石英做成)和引入的驱动电极作为耦合元件,射频ICP源的发射天线绕在电绝缘的石英放电室外边,当通过匹配网络将射频功率加到线圈上时,线圈中就有射频电流通过,于是
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Kaufman低能宽束离子源的结构原理
Kaufman离子源是由阴极(Cathode)、阳极(Anode)、栅极(Grids)、放电室圆筒构成气体放电室(Discharge Chamber),栅极构成离子光学系统。
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