真空规管

真空度测量的真空规分为绝对真空规和相对真空规。真空测量栏目主要讲述用于真空度测量的各种真空计及真空测量仪的工作原理及应用。

石英真空计在风洞中的应用

本文基于石英真空计自主研发了一套微压测量系统, 并研究了细长管路对测压系统的影响。

真空规比对标准装置期间核查方法
对真空规比对标准装置采用比对法进行期间核查。真空规比对标准装置是采用动态或静态直接比对法校准真空计,是一台操作方便、使用效率高的真空标准装置。
气体微流量标准装置期间核查方法
气体微流量标准是校准气体微流量的一种装置,是真空计量的基础标准之一,用于参考漏孔及气体微流量计的校准。对气体微流量标准装置采用多台平均值法进行期间核查。
静态膨胀法真空标准装置期间核查方法
根据真空计量标准的特点,从实用性、可靠性、可行性等方面综合考虑选择期间核查方法。静态膨胀法真空标准装置期间核查方法常用的核查方法为传递比较法。
热阴极电离真空计的电路设计
采用脉宽调制(PWM ) 技术与推挽变换结合的方法设计出简单、实用、稳定可靠的热阴极电离真空计的驱动电路。
热阴极电离真空计的工作原理
通过测定气体中被电离的离子流的大小, 确定气体的压 强。热阴极电离真空计就是根据这个原理制成的。
电容薄膜规(CDG)热流逸效应修正方法
电容薄膜规(CDG)的测量下限主要取决于分辨率和零点稳定性,而温度的变化会对零点稳定性产生较大的影响。为了改善CDG的零点稳定性能,就必须减少外界温度变化对测量的影响。
真空规原位校准装置的不确定度分量的分析评估
对真空规原位校准装置的不确定度来源进行分析评估,确定该装置的合成不确定度小于5%,扩展不确定度小于10%(k=2),符合国家二等真空标准不确定度小于10%的要求。
真空规原位校准在不同气压下的校准方法
真空规原位校准按照校准的压力范围不同可分为静态直接比对法、动态直接比对法、压力衰减法三种。
真空规原位置校准原理和装置
真空规原位置校准装置校准真空计时,通过微调阀注入所需校准气体,当校准容器中所需真空度稳定后,用主标准器和被校真空计同时测量校准容器或真空系统中的同一压力值,将测得压力值进行比较。
冷阴极潘宁离子源基本工作原理
冷阴极潘宁放电原理是一个圆筒作为阳极, 在其两端放两电极, 一 般接相同电位作为阴极, 将整个放电系统放入轴向磁场中。
皮拉尼(Pirani)真空规的修理
皮拉尼(Pirani)真空规利用电热丝的电阻温度特性和温度随压强变化关系,将压强变换为电阻测量。
电容薄膜真空计的校准注意事项
电容薄膜真空计优点主要是性能稳定,精确度高,灵敏度与气体种类无关;结构牢固、抗振动、寿命长;并可测蒸气和腐蚀性气体的压力。缺点主要是预热时间很长,可能会影响工作。
电离真空计的校准的注意事项
电离规管的结构为一个圆筒型三极管,它有三个电极:阴极F发射电子;栅极A加速电子,收集极C收集离子。校准电离真空计时,应注意本文提的六点。
比对法真空计校准系统标定实验过程
在标定装置上开展标定实验,首先将校准真空室抽至极限真空5×10-6 Pa(尽量减小本底误差),然后依次在1E-4~1E-1Pa的每一个量级内测量若干个样本数据, 即在每一量级内,通过膨胀过程使真空度缓慢变化,以等间距地读取稳定后的数据。
比对法真空计校准系统实验原理
膨胀法真空计校准系统是静态校准系统, 它的最大优点是真空系统中的气流分布是一种较理想的随机状态, 能够满足气体分子运动论的基本假设。