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真空吸盘技术在搬运薄钛板材中的应用
介绍自行研制的一种用于专用设备上的自动上、下料机械手,论述真空吸盘技术的应用、吸盘材料的选择、吸力的计算、真空度、真空泵等的选择,以及自动程序和机械手的自动化搬运过程。
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退火温度对氧化镍(NiO)薄膜的影响
随着退火温度的升高,薄膜的晶粒尺寸增大,晶粒大小约10~60nm;500℃退火条件下制得的NiO 薄膜组成和结构较好,具有良好的电化学循环稳定性,有望成为高性能的全固态薄膜锂电池阳极材料。
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反应溅射AlN 薄膜的动态特性
反应磁控溅射方法制备AlN薄膜是一种很普遍的方法,为了增强对该过程的理解,建立了反应溅射过程的动态模型.应用该模型分析了当氮流量增加或减少时,过程中的各个参数随时间变化的瞬态行为.
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氟化非晶碳膜的微结构分析
利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法,在不同的温度下制备了氟化非晶碳膜.采用原子力显微镜(AFM)、X 射线光电子能谱(XPS)和傅里叶红外吸收光谱(FTIR)等仪器对薄膜微结构进行了表征.
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氧化铟锡(ITO)防静电薄膜的性能测试分析
研究了辐照试验前后ITO 样品的光电性能变化,并用XPS和AFM对其组分及表面形貌变化进行了分析。结果表明,辐照后ITO薄膜的光学透过率变化不大;表面电阻有一定增加,但幅度不大,完全可以满足防静电的要求。
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