集成式涡轮分子泵提供最佳性能

来源:真空技术网整理

  真空设备、尾气处理设备和相应服务的供应商Edwards公司推出带有完全集成一体化控制器的STP-iXR1606系列磁悬浮(magnetically-levitated)涡轮分子泵(turbo-molecular pumps,TMP)。新型TMP泵包含了革新性的旋转设计,与现有产品相比,在高气体流量下可提高40%的处理能力,并增加接近90%的最大气体流量。

  Edwards的新TMP泵带有完全集成的控制器,省去了非集成控制器通常需要的连接电缆和控制柜。这有助于减少占位面积,为晶圆厂节省宝贵的空间,以及安装时间和成本。此外,该一体式控制器包含了小型电源,与现有产品相比,在处理高流量气体时能够降低32%的能耗。

  Edwards STP产品经理Masahide Tanaka称:“新的STP-iXR1606扩展了Edwards行业领先的涡轮分子泵本身已有的较高性能。它的峰值抽速与我们最出色的8英寸TMP泵相匹配,但在处理能力和最大容许气体流量方面则有显著的提高。正如我们所有的磁悬浮TMP,该设备无需维护。STP-iXR1606系列为我们的客户提供了适合所有应用的一体化TMP解决方案,同时能够减少占位面积,简化安装过程并降低能源消耗成本。”

  STP-iXR1606系列具有等同IP54级别的防尘和防潮性能,在多尘环境中提供了高可靠性。新设备具有I/O远程、RS232C、RS485和STP-link标准通信接口,以及提供Profibus和DeviceNet选项。

  Edwards STP-iXR1606 TMP 真空泵现已供应。要了解更多的信息,请访问公司网站:www.edwardsvacuum.com。


  Edwards 中国子公司
  埃地沃兹贸易(上海)有限公司
  免付费电话:400 111 9618
  电话:+86 21 5866 9618
  传真:+86 21 2025 5175
  邮箱:chinasales@edwardsvacuum.com