超高真空大抽速磁悬浮复合分子泵研制与应用示范项目启动

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)北航仪器光电学院 作者:刘刚

  1月16日,由北航仪器光电学院刘刚教授作为项目负责人的国家重大科学仪器设备开发专项“超高真空大抽速磁悬浮复合分子泵研制与应用示范”项目启动会在北航召开。科技部条财司吴学梯副司长、孙增奇处长、工信部科技司技术创新处范书建处长、王锐主管等领导出席会议,项目专家组中国计量院张钟华院士、中国仪器仪表行业协会专职副理事长李跃光、中科院光电所周维虎研究员、中国建筑材料科学研究总院“千人计划”特聘专家汪洪博士、中科院高能物理所董海义研究员等莅临启动会。

  会议由范书建处长主持,吴学梯副司长在产品应用及产业化、成果落地及加强与企业合作、承担单位切实落实好法人职责以及经费管理等方面作了重要指示。

  项目牵头单位北航张军副校长代表学校致欢迎词,感谢科技部和工信部对该项目给予的支持、指导和帮助,指出学校将全力保障项目的顺利实施。

  北航唐文忠校长助理、仪器光电学院房建成院长、发展规划处樊尚春处长、实验室及设备处赵罡处长、工研院蔡茂林副院长和各参研单位及应用单位代表50余人也出席了本次启动会。

  该项目由北航牵头,北京中科科仪股份有限公司作为项目产业化单位,合作研发单位包括北京北仪创新真空技术有限责任公司、北京海斯德电机技术有限公司,应用示范单位包括中国计量院、中科院半导体所、北京北方微电子基地设备工艺研究中心、中科院电子学所、中航工业618所、航天三院33所等6家单位。

  本项目以北航2007年国家技术发明一等奖的核心技术,以及国家重大科技成果转化项目突破的系列化高速磁悬浮永磁电机技术为基础,利用北京中科科仪、北京北仪创新真空的机械分子泵的技术积累,依靠自主创新,研制国际先进水平的大、中、小三类超高真空磁悬浮分子泵,填补国内空白,提升我国高端科学仪器及工艺设备的技术水平。

  会上,刘刚教授介绍了项目研究的必要性、拟解决的关键技术问题、主要研究内容、任务指标以及项目的组织实施和管理模式等。其他参研及应用示范单位就各自承担课题的研究内容、实施方案等作了详细汇报。与会领导和专家充分肯定了该项目研究的重要性以及各参研单位优势互补、高效合理的组织管理模式,并就仪器研制工作以及项目实施过程中可能遇到的困难展开了深入的交流与讨论,为下一步项目的顺利实施和组织管理提出了很好的建议。

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