质谱测量

在超高真空下,通常需要知道容器内的气体组分和相应的分压,质谱测量栏目主要讲述了使用四极质谱计进行残余气体分析及分压测量技术。

基于四极质谱仪航天器单点检漏应用研究

为了研究四极质谱仪在航天器单点检漏应用中的可行性,本文对航天器单点模型和单点检漏过程进行分析,并通过试验对四极质谱仪在航天器单点检漏进行验证。

用四极质谱计进行真空检漏的原理和方法
介绍了使用四极质谱计进行真空检漏的原理和方法, 分别对超高和极高真空系统做了检漏实验研究,并取到了满意的结果。四极质谱计检漏有检漏仪检漏无法比拟的优点, 适合在真空工程中推广应用。
QMS200四极质谱计在大功率速调管上的残气分析
四极质谱仪应用在大功率速调管上,记录了真空系统中残余气体的谱图。及在不同条件下残余气体的谱图变化特点。对速调管高功率输出时变化的残余气体谱图进行了初步分析。
四极质谱计的原理及其计量特性研究
四极质谱计是一种分压力测量仪器,可广泛应用于残余气体分析和真空流量的测量,其计量特性需要深入研究。用N2、Ar、He3种气体作为实验气体,对4台应用范围较广、具有一定代表性的商用四极质谱计的线性、长期稳定性、短期稳定性、离子源参量及使用历史对灵敏度的影响等性能
利用静态膨胀法真空装置和质谱计校准标准漏孔
本文介绍了利用静态膨胀法真空装置和残余气体四极质谱计校准标准漏孔的方法,通过实验验证了该方法的可行性,并给出了该装置测量范围(10-5~10-7)Pa.m3/s,装置的最佳校准能力小于3.0%(k=2)。
标准压缩式真空计比对校准真空计的方法
标准压缩式真空计比对校准真空计用比对法校准其它标准真空计量器具,在5×10-3~103Pa压力范围内,是一可靠的压力标准,因此,各国普遍将它确定为国家真空计量的基准器具。
动态流导法校准真空计的方法
动态流导法有时也称为动态流量法和小孔法校准,其校准下限随真空获得和小流量测量水平而延伸。是目前超高真空和极高真空的切实可行的校准方法。
静态膨胀校准低真空计方法
膨胀法校准是基于波意耳定律,即在恒定的温度下,一定质量的气体的压力与体积之积为一常数。首先将气源室中充有需要压力为p1的校准气体,由标准真空计G2测量。再将校准室抽气至低于校准压力下限两至三个数量级。这样可略去校准室本底压力对校准的影响。
真空计校方法准概述
“真空计校准”就是对相对真空计进行“刻度”。真空计刻度是在一定条件下对一定种类气体进行的,从而得到校准系数或刻度曲线。真空计校准的前提是必须有标准真空计和校准系统,并通过一定方法进行。
质谱计的分类与主要性能参数
质谱计根据质量分析系统的工作原理可分为磁偏转质谱计、回旋质谱计、飞行时间质谱计、射频质谱计、谐振感应质谱计和四极质谱计等。它的主要性能参数包括:质量范围、分辨能力和分辨本领、灵敏度、最小可检分压力、分压比灵敏度、最高线性工作压力。
反映真空质量——分压力测量
为了测量真空中混合气体组分和相应的分压力值,必须进行分压力测量,所用的仪器称为分压力真空计,分压力真空计是专用的小型质谱仪器——真空质谱计,只能用于分析气体各种成分的存在并估计其大小,尚未能进行定量测定,这时称为残余气体分析器。
质谱仪运行要求高真空的原因
解释下质谱仪运行要求高真空的原因