四极质谱计在高压力下的测量方法(3)
4.2、四极质谱计修正后测量分压力的结果
为了用理论分析的公式计算分压力值,则先通过校准获得b值。将校准室中的压力调节在10-2Pa,任意取一个压力值作为校准点,将四极质谱计所测离子流IR、已校准的线性灵敏度S0及压力P代入式⑻可得b的值,本实验测得氮气中b值为-43,氩气中为-151。
在10-6~10-1Pa以N2、Ar单一气体作为实验气体,将四极质谱计的离子流IR及已校准S0及b值代入式⑻计算的压力值与标准压力值进行比较,结果用式⑿表示,实验数据如表2所列。
表2 修正后四极质谱计压力与标准压力的比较
氮气压力比较 |
氩气压力比较 |
||||
标准压力(Pa) |
质谱计所测压力(Pa) |
D值 |
标准压力(Pa) |
质谱计所测压力(Pa) |
D值 |
2.73E-06 |
2.31E-06 |
1.8E-01 |
3.49E-06 |
3.28E-06 |
6.0E-02 |
6.06E-06 |
6.60E-06 |
8.0E-02 |
7.24E-06 |
7.09E-06 |
2.0E-02 |
2.58E-05 |
2.92E-05 |
1.2E-01 |
2.04E-05 |
2.02E-05 |
1.0E-02 |
5.36E-05 |
5.65E-05 |
5.0E-02 |
4.16E-05 |
4.13E-05 |
1.0E-02 |
8.51E-05 |
8.58E-05 |
1.0E-02 |
6.58E-05 |
6.76E-05 |
3.0E-02 |
2.78E-04 |
2.73E-04 |
2.0E-02 |
2.62E-04 |
2.65E-04 |
1.0E-02 |
5.43E-04 |
5.36E-04 |
1.0E-02 |
5.45E-04 |
5.60E-04 |
2.7E-02 |
8.52E-04 |
8.28E-04 |
3.0E-02 |
7.02E-04 |
6.96E-04 |
1.0E-02 |
6.16E-04 |
6.24E-04 |
1.3E-02 |
1.01E-03 |
9.88E-04 |
2.0E-02 |
2.86E-03 |
2.80E-03 |
2.0E-02 |
2.70E-03 |
2.82E-03 |
4.0E-02 |
9.42E-03 |
9.06E-03 |
4.0E-02 |
4.80E-03 |
4.98E-03 |
4.0E-02 |
1.32E-02 |
1.43E-02 |
8.0E-02 |
6.83E-03 |
6.41E-03 |
7.0E-02 |
2.49E-02 |
2.35E-02 |
6.0E-02 |
1.06E-02 |
1.12E-02 |
5.0E-02 |
4.48E-02 |
4.01E-02 |
1.2E-01 |
1.81E-02 |
1.61E-02 |
1.2E-01 |
5.93E-02 |
5.06E-02 |
1.7E-01 |
5.06E-02 |
4.35E-02 |
1.6E-01 |
1.33E-01 |
1.11E-01 |
2.0E-01 |
4.65E-01 |
3.91E-01 |
1.9E-01 |