分压力质谱计校准装置的不确定度分析(3)
在10-4Pa量级校准了QMS422质谱计对Ar的灵敏度，测得6组数据，如表1所示。
测量结果的重复性引入的相对合成标准不确定度为uAc,r=0.6%
2)四极质谱计测量的不确定度uBr1
由生产厂家的说明书和通过对四极质谱计的长期使用，估计其相对扩展不确定度Ur=8%，则B类相对标准不确定度为
uBr1=Ur/k=0.8%/3=2.7%(置信概率为0.9973)。
3)分压力测量的不确定度
由上述分压力测量的不确定度分析可知，分压力测量的不确定度与测量方法及校准气体有关，不确定度uB1、uBc1、uBc2及uBc3分别为1.4%，2.0%和2.5%。
4) 相对合成标准不确定度计算及表示
a.用动态直接测量法测量压力
一种气体时，相对合成标准不确定度
两种气体时，相对合成标准不确定度
三种气体时，相对合成标准不确定度
b.用衰减压力的分子流动态进样法测量压力
同前所述，测量1~3种气体成分时相对合成标准不确定度uc,r4均相同，有
3. 不确定度的验证
为了证明分压力测量不确定度的可靠性，我们进行了实验验证。实验采用磁悬浮转子规(SRG)和电容薄膜规(CDG)测量两种气体的分压力，并将测量结果与动态直接测量法的测量结果进行比较(用SRG和CDG测量两种气体分压力的方法见真空技术网另文介绍)。SRG是美国MKS公司生产的SRG-2型，测量范围为10-4~1Pa。CDG是美国MKS公司生产的HA690型，测量范围为10-3~10 Pa。表2列出了在10-2Pa量级对He-Ar混合气体分压力的四次随机测量结果。
表中的偏差δ使用下式计算：
式中：ya为动态直接测量法测量的分压力，pa；
yb为SRG与CDG测量的分压力，Pa。
从表2可以看出，偏差δ的最大值为1.2%。又因为分压力测量的相对扩展不确定度Ur(直接测量法，两种气体)为6.0%，所以δ≤Ur成立。
4. 结论
本文按照GJB3756-99《测量不确定度的表示及评定》中要求的不确定度评定方法，对“分压力质谱计校准装置”的分压力测量和灵敏度校准进行了不确定度的评定，同时也参考了GJB/J2749-96《建立测量标准技术报告的编写要求》中测量标准不确定度评定方法的相关内容，其方法具有普遍性，对测量标准的不确定度评定有一定参考作用。
