分压强质谱计校准装置测量不确定度评估(3)

2009-07-29 李得天 兰州物理研究所

3、校准装置的重复性和稳定性[4]

  用分压强质谱计校准装置对一台QMS422型四极质谱计的Ar灵敏度在短时间内测量了六次,Ar的分压强采用衰减压强的分子流动态进样法测量,用公式(7)计算测量标准的重复性为6.77×10-10A/Pa。

(7)

  利用平均灵敏度,可计算出重复性的相对值为S6(x)/x=0.87%。由于采用衰减压强的分子流动态进样法,其合成标准不确定度为3.5%,故测量重复性小于校准装置合成标准不确定度的2/3,满足装置的建标要求。

  在一个自然年内,用对一台QMS422型四极质谱计Ar的灵敏度进行了六次测量,Ar的分压强采用衰减压强的分子流动态进样法测量,用公式(8)计算测量标准的稳定性为2.59x10-9A/Pa。

(8)

利用上式 结果和平均灵敏度的数据,可计算出稳定性的相对值为S6(x)/x=3.2%。由于采用衰减压强的分子流动态进样法,其合成标准不确定度为3.5%,故测量标准的稳定性小于测量标准的合成标准不确定度,满足装置的建标要求。

4、 结论

  本文完全按照《GJB3756一99测量不确定度的表示及评定》中要求的不确定度评定方法,对“分压强质谱计校准装置”的分压强测量不确定度进行了严格评定,同时也参考了《GJB/J2749一96建立测量标准技术报告的编写要求》中测量标准不确定度评定方法及相关内容,给出了校准装置的重复性和稳定性,其方法具有普遍性,对真空测量标准的不确定度评定有一定参考价值。

参 考 文 献:

1 李得天,李正海,冯众等.分压强质谱计校准装置的研制. 真空科学与技术,2001,21(3):237

2 测量不确定度的表示与评定.中华人民共和国国家军用标准,GJ B3756一99

3 李得天.真空计量一级站与德国PIB的合作研究.国防军工计 量国际交流报告汇编,1999一2003:43

4 杨东禄,朱宏忠,叶德培等.建立测量标准技术报告的编写要求.中华人民共和国国家军用标准,GJB2749