四极质谱计的计量特性研究(3)
2009-07-21 卢耀文 兰州物理研究所
表2稳定性实验数据
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气体 |
质谱计A |
质谱计B |
||||
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S平均值A/Pa |
S标准偏差 /％ |
S最大偏差 的绝对值/％ |
S平均值A/Pa |
S标准偏差/％ |
S最大偏差 的绝对值/％ |
|
|
N2 |
4.95E-07 |
7.0 |
12 |
1.30E-08 |
11 |
20 |
|
Ar |
7.00E-07 |
8.7 |
17 |
1.56E-08 |
23 |
36 |
|
He |
1.44E-07 |
6.8 |
11 |
8.70E-09 |
7.9 |
16 |
|
气 体 |
质谱计C |
质谱计D |
||||
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S平均值A/Pa |
S标准偏差/％ |
S最大偏差 的绝对值/％ |
S平均值 |
S标准偏差 /％ |
S最大偏差 的绝对值/％ |
|
|
N2 |
7.18E-07 |
8.3 |
13 |
1.53E-09 |
16 |
26 |
|
Ar |
1.30E-06 |
9.1 |
18 |
4.63E-09 |
17 |
28 |
|
He |
3.56E-07 |
7.2 |
12 |
6.28E-10 |
29 |
43 |
