四极质谱计在高压力下的测量实验设备与实验结果(2)

2009-06-23 卢耀文 兰州物理研究所

四极质谱计修正后测量分压力的结果

  为了用理论分析的公式计算分压力值,则先通过校准获得b值。将校准室中的压力调节在10-2Pa,任意取一个压力值作为校准点,将四极质谱计所测离子流IR、已校准的线性灵敏度S0及压力P代入式⑻可得b的值,本实验测得氮气中b值为-43,氩气中为-151。

  在10-6~10-1Pa以N2、Ar单一气体作为实验气体,将四极质谱计的离子流IR及已校准S0及b值代入式⑻计算的压力值与标准压力值进行比较,结果用式⑿表示,实验数据如表2所列。


表2  修正后四极质谱计压力与标准压力的比较

氮气压力比较

氩气压力比较

标准压力(Pa)

质谱计所测压力(Pa)

D值

标准压力(Pa)

质谱计所测压力(Pa)

D值

2.73E-06

2.31E-06

1.8E-01

3.49E-06

3.28E-06

6.0E-02

6.06E-06

6.60E-06

8.0E-02

7.24E-06

7.09E-06

2.0E-02

2.58E-05

2.92E-05

1.2E-01

2.04E-05

2.02E-05

1.0E-02

5.36E-05

5.65E-05

5.0E-02

4.16E-05

4.13E-05

1.0E-02

8.51E-05

8.58E-05

1.0E-02

6.58E-05

6.76E-05

3.0E-02

2.78E-04

2.73E-04

2.0E-02

2.62E-04

2.65E-04

1.0E-02

5.43E-04

5.36E-04

1.0E-02

5.45E-04

5.60E-04

2.7E-02

8.52E-04

8.28E-04

3.0E-02

7.02E-04

6.96E-04

1.0E-02

6.16E-04

6.24E-04

1.3E-02

1.01E-03

9.88E-04

2.0E-02

2.86E-03

2.80E-03

2.0E-02

2.70E-03

2.82E-03

4.0E-02

9.42E-03

9.06E-03

4.0E-02

4.80E-03

4.98E-03

4.0E-02

1.32E-02

1.43E-02

8.0E-02

6.83E-03

6.41E-03

7.0E-02

2.49E-02

2.35E-02

6.0E-02

1.06E-02

1.12E-02

5.0E-02

4.48E-02

4.01E-02

1.2E-01

1.81E-02

1.61E-02

1.2E-01

5.93E-02

5.06E-02

1.7E-01

5.06E-02

4.35E-02

1.6E-01

1.33E-01

1.11E-01

2.0E-01

4.65E-01

3.91E-01

1.9E-01

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